中商情報網訊：半導體設備是整個半導體產業的重要支撐產業，得益于半導體全行業的蓬勃發展和國家政策的支持，我國半導體設備市場規模增長迅速。目前，行業下游晶圓廠在關鍵工藝節點上成功取得量產，多家國內領先的半導體制造企業進入產能擴張期，都為國內半導體設備企業的技術能力提升和產業規模的擴大提供了源動力。

一、產業鏈

半導體設備產業鏈中，上游為零部件和系統軟件；中游為半導體設備，光刻機、刻蝕機、離子注入機、涂膠顯影設備、氧化爐、CMP/CVD/PVD設備、質檢及電學檢測設備等；下游為半導體產品，主要包括分立器件、光電子器件、傳感器和集成電路。

資料來源：中商產業研究院整理

二、上游分析

1.軸承

軸承是半導體設備制造中的一種重要零部件，它的主要功能是支撐機械旋轉體，降低其運動過程中的摩擦系數，并保證其回轉精度。數據顯示，2021年我國軸承產量完成233億套，比2020年同期增長32.7%。預計2022年軸承產量將達259億套。

數據來源：中國軸承工業協會、中商產業研究院整理

2.信息交互系統

半導體設備上游中包括精密運動控制系統、伺服驅動系統和測試分選設備本體；精密運動控制系統作為核心部件，向伺服驅動系統分配運動指令，從而帶動測試分選設備本體運轉，對芯片進行分選。具體如下圖所示：

資料來源：中商產業研究院整理

3.伺服系統

（1）伺服系統市場規模

伺服系統又稱隨動系統，是用來精確地跟隨或復現某個過程的反饋控制系統。伺服系統主要由伺服電機、伺服驅動器、編碼器三部分組成。

根據數據顯示，我國伺服系統市場規模由2017年的97億元上升至2021年的224億元。隨著中國人口老齡化的進一步加劇，人口紅利逐漸消退，人力成本逐年上升，傳統工業尤其是制造業對自動化產線設備的需求將始終保持增長態勢。預計到2022年，我國伺服系統市場規模將達到286億元。

數據來源：中商產業研究院整理

（2）伺服系統主要企業分析

資料來源：中商產業研究院整理

三、中游分析

1.半導體設備市場規模

中國半導體設備的市場規模增速明顯，從2017年的554.18億元增長至2019年的905.70億元。2020年，中國半導體設備市場亦保持快速增長趨勢，銷售額為1260.62億元，同比增長達39.2%，成為全球第一大半導體設備市場；2021年，中國半導體設備市場連續增長，銷售額為1993.35億元，同比增長達58.1%，連續兩年成為全球第一大半導體設備市場。2022年中國半導體預計將繼續增長，規模達到2745.15億元。

數據來源：SEMI、中商產業研究院整理

2.半導體設備市場占比

從細分產品來看，光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備為半導體設備主要核心設備，分別占比24%、20%、20%。其次為測試設備和封裝設備，分別占比9%、6%。

數據來源：SEMI、中商產業研究院整理

3.半導體設備國產化率低

中國半導體設備行業整體國產化率的提升還處于起步階段，目前國內半導體生產廠商所使用的半導體設備仍主要依賴進口。根據中國電子專用設備工業協會的統計，2021年半導體設備進口46894臺，合計進口額1147.96億元，同比分別增長84.3%和56.4%。

數據來源：中國電子專用設備工業協會、中商產業研究院整理

4.重點企業分析

資料來源：中商產業研究院整理

5.企業分布熱力圖

資料來源：中商產業研究院整理

四、下游分析

1.半導體市場規模

我國本土半導體行業起步較晚。但在政策支持、市場拉動及資本推動等因素合力下，中國半導體行業不斷發展。步入21世紀以來，我國半導體產業市場規模得到快速增長。數據顯示，中國半導體市場規模由2016年的4336億元增長至2020年的8848億元，年均復合增長率達19.5%。中商產業研究院預測，2022年中國半導體市場規模將達11008億元。

數據來源：中國半導體行業協會、中商產業研究院整理

2.集成電路產量

集成電路在消費電子、高端制造、網絡通訊、家用電器、物聯網等諸多領域得到廣泛應用，已成為衡量一個國家產業競爭力和綜合國力的重要標志之一。數據顯示，2021年我國集成電路產量達3594.3億塊，同比增長33.3%。2022年1-5月，我國集成電路產量達1348.75億塊，同比下降6.2%。

數據來源：中商產業研究院數據庫

3.分立器件產量

近年來，物聯網、可穿戴設備、云計算、大數據、新能源、醫療電子、VR/AR、安防電子等新興應用領域成為國內半導體分立器件產業的持續增長點。2020年受疫情影響及出口市場的下滑，我國半導體分立器件產量達7317.7億只，同比下降4.3%，預計2022年我國半導體分立器件產量可達8079.2億只。

數據來源：中國半導體行業協會、中商產業研究院整理

4.光電子器件產量

光電子器件是利用電-光子轉換效應制成的各種功能器件，是信息技術的重要組成部分。數據顯示，2017-2018年我國光電子器件產量穩步增加，2019-2020年產量下降，降幅超10%。2021年由于市場需求增長，我國光電子器件產量恢復快速增長，產量為12314.1億只。最新數據顯示，2022年1-5月全國光電子器件產量為4589.1億只，同比下降5.9%。

數據來源：國家統計局、中商產業研究院整理