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臺積電砍單4成!ASML押寶中國市場:支持7nm高端DUV光刻機可出口

2023-04-18 來源:快科技
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關鍵詞: 臺積電 光刻機

據臺系設備廠商透露,ASML近期由于客戶大砍資本支出、縮減訂單,最重要是大客戶臺積電也大砍逾4成EUV設備訂單及延后拉貨時間,2024全年業績將明顯承壓。


受此消息影響,ASML股價出現了下跌,而對于接下來的發展,其也將會保證中國市場的訂單。


ASML預計2023年在中國的銷售額將保持在22億歐元左右(約合人民幣超162億元),其正在加快拓展在中國的業務和銷售。



在這之前,ASML強調,新的出口管制措施并不針對所有浸潤式光刻系統,而只涉及所謂“最先進”的浸潤式光刻系統。截至目前企業尚未收到有關“最先進”的確切定義的信息,公司將其解讀為在資本市場日會議上定義的“關鍵的浸潤式光刻系統”,即TWINSCANNXT:2000i及后續推出的浸潤式光刻系統。


所謂浸沒式光刻機,屬于193nm(光源)光刻機(分為干式和浸沒式),可以被用于16nm至7nm先進制程芯片的制造,但是目前也有被業界廣泛應用在45nm及以下的成熟制程當中。


ASML公司官網信息顯示,該公司主流的DUV光刻機產品共有三款設備:TWINSCAN NXT:1980Di,TWINSCAN NXT:2000i和TWINSCAN NXT:2050i,其中2000i和2050i兩款是公司在聲明所指的產品。


ASML官網上關于這一臺TWINSCAN NXT:1980Di的介紹,其中在分辨率方面,寫到是大于等于38nm(可以支持到7nm左右),而這是指一次曝光的分辨率,事實上光刻機是可以進行多次曝光的。


理論上NXT:1980Di依然可以達到7nm,只是步驟更為復雜,成本更高,良率可能也會有損失,晶圓廠用這一臺光刻機,大多是生產14nm及以上工藝的芯片,很少去生產14nm以下的工藝,因為良率低,成本高,沒什么競爭力。



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