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ASML CEO:中國不太可能獨立造出頂尖光刻機,但也不是絕對

2023-06-16 來源:只談數碼科技
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關鍵詞: 光刻機 芯片 中芯國際

ASML有多重要,ASML生產的EUV光刻機有多重要,相信每一個關注芯片產業的人都清楚。


在當前情況之下,任何一家芯片企業,如果工藝想進入7nm及以下,ASML的EUV光刻機就必不可少,因為只有它能夠生產。



但ASML沒有完全的自主權,他無法真正的決定將自己的EUV光刻機賣給誰,最終它還得聽美國的,比如ASML在2018年的時候,就想向中國出口最先進的EUV光刻機,最后美國不允許他賣,所以4年過去了,這臺EUV光刻機都沒交貨。


而今年,ASML甚至因為美國的禁令,對浸潤式光刻機的出口都進行了限制,目前兩款2新的不能賣,只有一款相對落后的浸潤式光刻機,能賣給中國。


也正因為如此,所以中國一直在努力的研發自己的光刻機,特別是EUV光刻機,一旦中國廠商能夠生產EUV光刻機了,那么ASML就徹底的沒有競爭力了。



但近日,阿斯麥(ASML)CEO溫彼得(Peter Wennink)表示。“中國不太可能獨立復制(replicate)出頂尖的光刻技術。”


不過這樣說完之后,他還是做了補充:“這也并不是絕對不可能,因為中國的物理定律和我們這里是一樣的”。


那么頂尖光刻機的難點到底在哪里?其實主要有三塊,一塊是曝光光源,也就是極紫外線的產生。



第二塊是對準系統,也就是如何將產生的紫外線收集起來,并使其具有方向性和精準度。第三部分才是透光鏡頭等技術的整合。


而這三部分之中,前兩部分其實都不完全算是ASML的技術,是ASML整合德國TRUMPF、德國的蔡司公司的產品和技術。第三塊才主要是ASML的技術。


一臺EUV光刻機,有超過10萬個零件,來自于上千家供應鏈,如果中國想要獨立的制造出來,意味著需要上千家供應鏈崛起,然后都達到頂尖水平,這個確實比較難。



不過溫彼得最后補充的話,也是留了余地的,那就是也并不是不可能,還是有可能的。畢竟溫彼得在之前還說過,“出口管制將加快中國自主研發,15年時間里他們將做出所有的東西”。


那么15年內,是中國研發出全球最頂尖的光刻機,還是ASML放開出口?