中商情報網訊：涂膠顯影設備是光刻工序中與光刻機配套使用的涂膠、烘烤及顯影設備，包括涂膠機、噴膠機和顯影機。根據使用方式不同可分為單獨使用（Off Line）和聯機作業（In Line）。

市場規模

涂膠/顯影機作為光刻機的輸入和輸出設備，主要通過機械手使晶圓在各系統之間傳輸和處理，從而完成晶圓的光刻膠涂覆、固化、顯影、堅膜等工藝過程，是集成電路制造過程中不可或缺的關鍵處理設備。中商產業研究院發布的《2017-2027全球及中國半導體設備行業深度研究報告顯示，2021年中國涂膠顯影設備市場規模達9.4億元，同比增長21.7%，2022年市場規模約為11.1億元。中商產業研究院分析師預測，2023年市場規模將達12.8億元.

數據來源：中商產業研究院整理

競爭格局

TEL在中國大陸的市占率高達91%，其次為Screen（迪恩士），占比接近5%，中國芯源微涂膠顯影設備國產化率僅為4%。

數據來源：中商產業研究院整理