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ASML放開對華銷售先進DUV光刻機,22年前共182臺 EUV,賣給了誰?

2023-09-04 來源:只談數碼科技
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關鍵詞: 芯片 光刻機 中芯國際

據《中國日報》等多家媒體報道,荷蘭最新芯片出口管制措施于今日(9月1日)生效。


對此,荷蘭芯片制造設備巨頭ASML(阿斯麥)方面回復稱,目前,ASML已向荷蘭政府提出TWINSCAN NXT:2000i及后續推出的浸潤式光刻系統的出口許可證申請,荷蘭政府也已經頒發了截至9月1日所需的許可證,允許ASML今年繼續發運TWINSCAN NXT:2000i及后續推出的浸潤式光刻系統。(注:涉及16nm及以下制程工藝制造部分)


那么根據最新變化,明年1月起,ASML三款先進浸沒式深紫外光刻機 (DUV) 設備將不會對中國出口,這對國內半導體產業鏈將造成深遠的影響。NXT: 2000i及后續光刻系統半間距為38nm、對準精度為2.0nm以內,對應是16nm至7nm先進制程芯片的制造(基于芯片類型不同,也可用在45nm及以下的成熟制程當中),因此業界普遍認為,此次受限制的是16nm及以下制程工藝制造。


各個工藝節點和光刻技術的關系


ASML半導體光刻機產品參數




ASML的EUV光刻機歷程

2006年,ASML推出了第一臺EUV光刻機AlphaEUV演示工具,標志著ASML正式進入EUV光刻機領域。隨后,公司開始大力推進EUV技術的研發與生產,不斷改進產品的性能與精度,發展了一系列的EUV光刻機產品。2014年,ASML推出了世界上第一臺EUV可用于芯片生產的光刻機,標志著EUV技術已經開始商業化。



    到了2017年,ASML推出了支持7納米和5納米節點的EUV量產型號TWINSCANNXE:3400B,它的分辨率遠高于傳統的ArFi光刻機,并能夠在制造高密度存儲芯片時發揮巨大的作用。截止至2022年底,ASML實際賣出EUV光刻機僅182臺,在這個數字下,EUV光刻機的市場份額仍然相當小。



ASML的EUV光刻機客戶情況

ASML的EUV光刻機客戶主要分為兩類,一類是制造芯片的企業,如英特爾、三星、臺積電,另一類是制造DRAM內存的企業,如美光、SK海力士、三星。這些客戶均是全球知名的科技公司,在各自領域擁有著廣泛的產品線和市場份額,并且對高精度、高質量的光刻機需求較大。


值得注意的是,ASML僅有5個EUV光刻機客戶,這也正是EUV光刻機市場較小的主要原因之一。



EUV光刻機市場需求現狀

EUV光刻機是當今半導體生產過程中最重要和最昂貴的設備之一。EUV光刻機的生產成本極高,需要巨額的研發資金和投入,而且其制造流程復雜,技術難度也非常高。同時,EUV光刻機市場的需求量并不像想象中那么大,目前ASML是唯一的EUV光刻機生產商,其它光刻機企業不研發EUV光刻機的原因,是因為會與ASML打價格戰,最后雙方都會虧損。因此,目前EUV光刻機市場份額比較小,但是其商業價值以及在芯片生產過程中的地位不言而喻。


中國研發EUV光刻機

中國正大力發展芯片制造產業,在芯片高端制造領域持續加強技術攻關。EUV光刻機作為半導體領域的重要制造設備之一,已經成為中國芯片制造產業發展的關鍵環節。


目前在全球范圍內,除ASML之外,中國是唯一一家研發EUV光刻機的企業。由于EUV光刻機的研發周期極長,技術難度極大,中國需要長時間的持續投入。目前,中國還沒有成熟的EUV光刻機技術,但中國政府正加大對該領域的投資和扶植,而首次購買EUV光刻機的中國企業——中芯國際也將成為中國EUV光刻機在市場上探索的重要推手。


總結

EUV光刻機是半導體制造領域的重要裝備,目前市場份額相對較小,但商業價值和在芯片生產中的地位不容小覷。ASML公司在EUV光刻機領域中占據著重要的市場地位,客戶主要集中在制造芯片和DRAM內存領域之內。除ASML之外,目前全球沒有其它光刻機企業研發EUV光刻機,這也是EUV光刻機市場需求量相對較小的主要原因之一。中國正積極尋求獨立研發EUV光刻機,計劃加快在半導體領域的技術攻關和產業升級。



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