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- 尼康浸潤式光刻機上新:效率提升15%,支持5nm芯片,不能賣給中國
- 理論上,浸潤式光刻機,制造2nm芯片都沒問題,只是成本太高
- 尼康推出浸潤式 ArF 光刻機 NSR-S636E,時隔二十多年再發(fā)新品
- 國產(chǎn)光刻機,只差最后一項技術,就要搞定浸潤式,實現(xiàn)7nm了?
- 國產(chǎn)光刻機,三大核心部件,突破到哪一步了?只差臨門一腳了
- 國產(chǎn)光刻機,究竟發(fā)展到哪一步了?90nm,還是7nm?